市面上最小的ALD,可放進手套箱,來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,具有超快 MFC,用于集成惰性氣體吹掃。
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市面上最小的ALD,可放進手套箱,來自美國哈佛的原子層沉積系統(tǒng)兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,具有超快 MFC,用于集成惰性氣體吹掃。
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